無氧化烤箱概述：

  利用充氮?dú)馓峁o氧化烘烤空間， 確保產(chǎn)品不氧化。適用于IC封裝、晶圓烘烤、PI固化、BCB膠固化、ITO模具退火、鍍膜制程等半導(dǎo)體行業(yè)，電子行業(yè)及各種產(chǎn)業(yè)應(yīng)用。

無氧化烤箱結(jié)構(gòu)：

1.箱體結(jié)構(gòu)：

內(nèi)箱采用SUS304鏡面不銹鋼制作，以全周氬弧焊無縫處理；

外箱采用SUS304不銹鋼或優(yōu)質(zhì)冷軋板靜電噴塑處理；

外箱保溫材質(zhì)採用高級超細(xì)保溫棉，六面保溫斷熱，機(jī)臺表面溫度低。

2.氣體系統(tǒng)：

馬達(dá)軸心以特殊軸封密閉，氣密性佳，含氧量可低至50PPM以上；

箱體內(nèi)裝有氧含量分析儀，全稱檢測氧含量；

排氣口采用自動風(fēng)門設(shè)計以達(dá)到強(qiáng)烈的循環(huán)效果及快速降溫，進(jìn)氣口加附N2流量計控制進(jìn)氣量。

3.熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)：

特殊節(jié)約能源高效率送風(fēng)結(jié)構(gòu)；

采用不銹鋼覆套式無塵無氧化電熱發(fā)生器；

箱體后部裝有離心循環(huán)風(fēng)機(jī)、氮?dú)膺M(jìn)氣口和排氣口，離心風(fēng)機(jī)將箱內(nèi)加熱的熱風(fēng)與進(jìn)氣口的新鮮氮?dú)饣旌希徊糠謿怏w混合烘干處理產(chǎn)生的廢氣物從排氣口排出，大部分氣體進(jìn)入箱體兩側(cè)的循環(huán)風(fēng)道，攜帶加熱器產(chǎn)生的熱量，進(jìn)入箱體內(nèi)對產(chǎn)品進(jìn)行加熱烘烤，然后由離心風(fēng)機(jī)重新吸回，從而往返循環(huán)。

4.降溫系統(tǒng)：

 風(fēng)冷或水冷卻循環(huán)系統(tǒng)。

5.溫控系統(tǒng)：

 采用高精度溫度控制器，內(nèi)置斜率設(shè)定、PID自整定、高溫上限報警、熱電偶失效指示等多種功能。