電子無(wú)塵烤箱，電子潔凈烘箱的應(yīng)用：

  晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅芯片。在硅芯片上可加工制作成各種電路組件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。一般是芯片電路設(shè)計(jì)-晶圓的制造-晶圓的測(cè)試-晶圓的切割研磨-芯片的封裝-成品芯片的測(cè)試。在整個(gè)工藝中晶圓烘烤工藝也很重要，且需要多次烘烤。

電子無(wú)塵烤箱，電子潔凈烘箱的組成：

烘烤工作室：需烘烤的產(chǎn)品放置區(qū)；

潔凈室：高效過(guò)濾器凈化工作室內(nèi)空氣，達(dá)到class100潔凈度；

控制部分：溫度、時(shí)間、記錄、溫度檢測(cè)、烤箱開關(guān)等操作區(qū)；

電器箱：無(wú)塵烤箱電器部分，電子元件等安裝區(qū)；

其他：氮?dú)饨涌冢棚L(fēng)閥門，掃碼槍等。

電子無(wú)塵烤箱技術(shù)性能：

溫度范圍：RT+10～200、300/450℃；

升溫速率：≥5℃/min（可定制）；
溫度均勻度：±1.5%℃;    

溫度波動(dòng)度：±0.5；        
溫控精度：0.1℃;

時(shí)間設(shè)定范圍：0.1S-9999H；

內(nèi)腔數(shù)量：?jiǎn)吻唬舷聦与p腔體，四腔體等；

腔內(nèi)分層：2層或多層

內(nèi)箱材料:SUS304鏡面不銹鋼制作；

外箱材料：優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑或#304鏡面不銹鋼制作；

密封材料：密封條采用硅膠膠條制作，可耐溫不變形，；

保溫材料；阻燃陶瓷纖維。

外殼溫度：在 200℃以內(nèi)，不高于室溫+15℃，門周邊接接縫處除外。