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真空無氧烘箱,無氧化真空烤箱 工業(yè)烘箱

真空無氧烘箱,無氧化真空烤箱 工業(yè)烘箱

簡要描述:

真空無氧烘箱,無氧化真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化,鍵合前鍵合材料的真空處理,ITO膜退火,PR膠排膠固化等特殊工藝。

 真空無氧烘箱,無氧化真空烤箱簡介:

   真空無氧烘箱,無氧化真空烤箱是一種定制真空烤箱。將高純度氮氣充入烤箱內(nèi)部,從而置換腔內(nèi)空氣降低氧濃度,來防止部分物料在高溫環(huán)境下加速氧化的現(xiàn)象??鞠涑槿≌婵蘸螅淙氲獨?,再抽取真空,多次循環(huán)后可以確??鞠涞墓ぷ魇姨幱跓o氧的狀態(tài),避免活性較強的物料在高溫有氧的環(huán)境下被氧化而損壞。

   無氧真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化,鍵合前鍵合材料的真空處理,ITO膜退火,PR膠排膠固化等特殊工藝。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子產(chǎn)品、醫(yī)療衛(wèi)生等行業(yè),適用于工廠、高等院校、科研等場所。

真空無氧烘箱,無氧化真空烤箱技術(shù)指標(biāo):

工作室尺寸(mm)

450×450×450,600×600×600,可定制

箱體材質(zhì)

內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級不銹鋼,外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板靜電噴塑或不銹鋼

溫度范圍

RT+10-300/400/500℃ 

溫度分辨率

0.1℃

溫度波動度

≤±1℃

升溫速率

5℃/min

降溫速率

特殊要求數(shù)據(jù)

真空度

≤133pa或要求數(shù)據(jù)

電源

AC220V、 380V±10% / 50HZ        

控制儀表

人機界面,可校準(zhǔn)溫度控制器,PID自整定等功能

擱板層數(shù)

不銹鋼托盤2層或多層

真空泵

油泵/干泵自選

腔門密封圈

采用耐高溫硅橡膠密封圈

狀態(tài)指示燈

配有三色指示燈及蜂鳴器來提示機臺運行狀態(tài)

氧含量

20PPM,可檢測,實時顯示

潔凈度

Class100、1000級

降溫系統(tǒng)

風(fēng)冷+水冷

氮氣控制

可程序自動控制

安全保護裝置

安全的接地保護裝置,超溫保護及報警裝置,漏電保護裝置

 

       上海雋思儀器 專為半導(dǎo)體生產(chǎn)烘烤制程設(shè)備定做服務(wù),無氧烤箱,真空無氧化烤箱,無氧真空烘箱,無塵烤箱,無塵無氧烤箱,真空無氧固化烤箱,PI烤箱,潔凈烘箱,氮氣烤箱,隧道烘爐,HMDS真空烤箱等。

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